انجمن نانوفناوری ایران نانومقیاس 2423-5628 7 1 2020 03 20 The effects of stable substrate temperature on the quality of ZnO films prepared by pulsed laser deposition بررسی اثر پایداری دمای زیرلایه بر کیفیت لایههای روی اکسید در روش لایه نشانی لیزری 25 29 46338 FA مهرناز سیمدار گروه فیزیک، دانشکده فیزیک و شیمی، دانشگاه الزهرا، تهران، تهران فائزه حسنی گروه فیزیک، دانشکده فیزیک و شیمی، دانشگاه الزهرا، تهران، تهران سیده ثریا موسوی گروه فیزیک، دانشکده فیزیک و شیمی، دانشگاه الزهرا، تهران، تهران محمد امین بصام گروه الکترونیک، دانشکده الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران، تهران بتول سجاد گروه الکترونیک، دانشکده الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران، تهران Journal Article 2020 10 18 Zinc oxide (ZnO) is one of the most widely used semiconductor metal oxides with extensive<br />applications in the manufacture of optical instruments do to its unique properties. The specificity of the films prepared by the use of this material depends directly on its deposition conditions. In this work, during the preparation of ZnO films by the pulsed laser deposition method, we fixed the volume and pressure parameters and considered the temperature factor as a varied factor by cooling down the substrate temperature to investigate the effect of thermodynamic parameters. The results of UV-visible absorption spectroscopy, microscopic and SEM images of the samples indicate that the quality of the films improves effectively under stable thermodynamic conditions. روی اکسید ( )ZnOیکی از پرکاربردترین اکسیدهای فلزی نیمرساناست که به دلیل داشتن ویژگیهای منحصر به فرد،<br />کاربرد فراوانی در ساخ توسایل نوری دارد. ویژگی لایههای تهیه شده از این ماده به صورت مستقیم افزون بر شرایط پرتودهی، به شرایط لایهنشانی آن نیز بستگی دارد. در این مقاله، با هدف بررسی ثبات شرایط ترمودینامیکی بر کیفیت انباشت لایههای ZnOبه روش لایهنشانی لیزر پالسی، مشخصههای حجم و فشار را در حین لایهنشانی ثابت در نظر گرفتیم و با سرد شدن تدریجی زیرلایه، عامل دما را بهعنوان عامل موثر در تغییر شرایط ترمودینامیکی بررسی کردیم. نتایج بدست آمده از بررسی طیف جذب مرئی- فرابنفش و تصاویر میکروسکوپی و SEMنمونهها حاکی از آن است که کیفیت لایهها در شرایط ترمودینامیکی پایدار به صورت موثری بهبود مییابد https://nanomeghyas.ir/article_46338_0d0e8e5e5c83563a3d17a84f9c763733.pdf