@article { author = {Simdar, M. and Hasani, F. and Mousavi, S.S. and Basam, M.A. and Sajad, B.}, title = {The effects of stable substrate temperature on the quality of ZnO films prepared by pulsed laser deposition}, journal = {Nanoscale}, volume = {7}, number = {1}, pages = {25-29}, year = {2020}, publisher = {}, issn = {2423-5628}, eissn = {2423-5628}, doi = {}, abstract = {Zinc oxide (ZnO) is one of the most widely used semiconductor metal oxides with extensiveapplications in the manufacture of optical instruments do to its unique properties. The specificity of the films prepared by the use of this material depends directly on its deposition conditions. In this work, during the preparation of ZnO films by the pulsed laser deposition method, we fixed the volume and pressure parameters and considered the temperature factor as a varied factor by cooling down the substrate temperature to investigate the effect of thermodynamic parameters. The results of UV-visible absorption spectroscopy, microscopic and SEM images of the samples indicate that the quality of the films improves effectively under stable thermodynamic conditions.}, keywords = {Pulsed Laser Deposition,Zinc oxide,Stable Thermodynamic Condition,Effects of Temperature,Band gap}, title_fa = {بررسی اثر پایداری دمای زیرلایه بر کیفیت لایههای روی اکسید در روش لایه نشانی لیزری}, abstract_fa = {روی اکسید ( )ZnOیکی از پرکاربردترین اکسیدهای فلزی نیمرساناست که به دلیل داشتن ویژگیهای منحصر به فرد،کاربرد فراوانی در ساخ توسایل نوری دارد. ویژگی لایههای تهیه شده از این ماده به صورت مستقیم افزون بر شرایط پرتودهی، به شرایط لایهنشانی آن نیز بستگی دارد. در این مقاله، با هدف بررسی ثبات شرایط ترمودینامیکی بر کیفیت انباشت لایههای ZnOبه روش لایهنشانی لیزر پالسی، مشخصههای حجم و فشار را در حین لایهنشانی ثابت در نظر گرفتیم و با سرد شدن تدریجی زیرلایه، عامل دما را بهعنوان عامل موثر در تغییر شرایط ترمودینامیکی بررسی کردیم. نتایج بدست آمده از بررسی طیف جذب مرئی- فرابنفش و تصاویر میکروسکوپی و SEMنمونهها حاکی از آن است که کیفیت لایهها در شرایط ترمودینامیکی پایدار به صورت موثری بهبود مییابد}, keywords_fa = {لایه نشانی لیزر پالسی,روی اکسید,شرایط ترمودینامیکی پایدار,اثر دما,گاف انرژی}, url = {https://nanomeghyas.ir/article_46338.html}, eprint = {https://nanomeghyas.ir/article_46338_3e57a0569c1633dd3079234fabd2ced9.pdf} }